XP-63X一維X向壓電納米定位臺價格壓電納米定位臺為壓電陶瓷直驅(qū)X軸運動定位臺，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)，具有剛度大、分辨 率高、響應(yīng)速度快等特點，可以通過自由組合的方式組成二維XY、三維XYZ納米定位臺。

特性 XP-63X一維X向壓電納米定位臺價格

• 位移60μm                   • 亞毫秒響應(yīng)時間                   • 承載5kg                   • 1~3維自由組合                   • 重復(fù)定位精度可達0.05%F.S.

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1~3維平移臺	產(chǎn)品外觀	直驅(qū)機構(gòu)式驅(qū)動示意圖
XP-63X系列壓電納米定位臺可通過轉(zhuǎn)接板連接， 組成XY，XZ，XYZ多種運動結(jié)構(gòu)。 多種規(guī)格型號可選。 柔性鉸鏈采用精密線切割技術(shù)。

小體積、高精度、響應(yīng)速度快		傳感器類型	頻率負載曲線
XP-63X系列壓電納米定位臺結(jié)構(gòu)設(shè)計，具有大機械剛度、大承載、高的空載諧振頻率等特點。負載情況下也具有高的使用頻率，響應(yīng)時間可 以實現(xiàn)亞毫秒級。例如XP-630帶動20g負載，響應(yīng)時間僅為5ms。 XP-63X系列產(chǎn)品體積小巧，XP-630一維尺寸僅為60×45×18mm，易于與其他平臺設(shè)備集成。 閉環(huán)版本配置應(yīng)變傳感器，可實時檢測位置信號 并反饋給閉環(huán)控制器，控制器通過PID算法對檢測到的位置信號進行修正，從而實現(xiàn)納米級的精密定位。

應(yīng)用

• 半導(dǎo)體技術(shù)     • 納米壓印     • 納米計量     •微操控       • 納米光刻     •干涉法/ 掃描顯微/納米定位     •生物技術(shù)     •質(zhì)量保證測試     •微加工/精密控制